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CN120072714A 一种晶圆清洗系统和清洗方法 （华海清科(北京)科技有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-05-26 发布于重庆
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CN120072714A 一种晶圆清洗系统和清洗方法 （华海清科(北京)科技有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120072714A

    (43)申请公布日2025.05.30

    (21)申请号202510467827.1B08B1/12(2024.01)

    B08B1/20(2024.01)

    (22)申请日2025.04.15

    (66)本国优先权数据

    202411981494.62024.12.31CN

    (71)申请人华海清科（北京）科技有限公司

    地址100000北京市大兴区经济技术开发

    区地盛北街1号院40号楼11层1107室

    (72)发明人刘福生徐俊成刘效岩

    (51)Int.Cl.

    H01L21

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