CN119993893A 一种静电卡盘及其制备方法 （君原电子科技(海宁)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119993893A

(43)申请公布日2025.05.13

(21)申请号202411957228.X

(22)申请日2024.12.29

(71)申请人君原电子科技（海宁）有限公司

地址314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经

济开发区谷水路306号天通泛半导体

产业园2幢

(72)发明人李君吴振平石锗元肖伟

(51)Int.Cl.

H01L21/683(2006.01)

B23P15/00(2006.01)

C23C4/11(2016.01)

C23C4/10(2016.01)

C23C4/134(2016.01)

C23C4/02(2006.01