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薄膜铌酸锂晶圆制备技术研究：从离子注入到表面平坦化的完整工艺流程

第一章引言与背景概述

薄膜铌酸锂(LNOI)晶圆作为新一代集成光子学平台的核心基础材料，其制备技术直接决定了后续光电器件的性能表现。与传统SOI晶圆制造工艺类似，LNOI晶圆制备主要基于Smart-Cut技术路线实现。这项由法国SOITEC公司于1998年申请的核心专利技术(US6120597)，经过二十年的技术演进和市场验证，已经成为薄膜单晶材料制备的行业标准方法。随着2018年基础专利保护期结束，该技术现已进入公共技术领域，为全球科研机构和企业提供了更广阔的发展空间。

从材料特性来看，铌酸锂(LiNbO3)晶体具有优异的电