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表面等离激元赋能氮化硅基MIS器件电致发光的深度探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在光电子领域不断追求高性能器件的进程中，表面等离激元（SurfacePlasmon,SP）与氮化硅基MIS（Metal-Insulator-Semiconductor）器件电致发光的结合研究，正逐渐成为备受瞩目的焦点。表面等离激元是指在金属表面存在的一种自由电子和光子相互作用形成的集体振荡模式。其独特的光学特性，如突破光学衍射极限，将光场局域在金属表面的极小区域内，实现光的亚波长传输与局域增强，以及强局域场增强效应，在金属表面附近能够产生比入射光场强得多的电磁场，为纳米尺度下的光信息处理、光通信和光