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微机械薄膜应力的在线测试结构.pdf

微机械薄膜应力的在线测试结构.pdf

    ·6·《测控技术}2002年第21卷第7期

    文章编号：1000—8829(2002)07—0006一0,4

    微机械薄膜应力的在线测试结构

    n．SituTestStructuresofMicromachinedThinFilms

    (东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室，江苏南京210096)刘祖韬，黄庆安，姜岩峰

    摘要：微机械薄膜应力对MEMS器件有较大的影响，向下偏转，通过光学或表面台阶仪测出弯曲量从而检

    因此应力测量对于工艺监控和M

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