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微纳加工中高精度环境温度控制系统的设计.pdf

微纳加工中高精度环境温度控制系统的设计.pdf

    ·72·《测控技术~2017年第36卷第6期

    微纳加工中高精度环境温度控制系统的设计

    姚龙隆，陈晓荣，杨海马，涂建坤，陈成

    (1．上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海200093；2．上海电缆研究所，上海200093)

    摘要：统计表明，在微纳加工领域中，由于热变形引起的误差占总误差的40％一70％，已经成为制约微

    纳加工发展的主要因素之一。本系统采用基于PL

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