【爱建-2026研报】半导体设备行业点评：先进制程与设备多腔化共振，看好零部件环节.pdfVIP

证券研究报告

行业研究/行业点评2026年05月25日

先进制程与设备多腔化共振，看好零部件环节

行业及产业

——半导体设备行业点评

机械设备

强于大市投资要点：

国产半导体设备向7nm及以下先进制程突破的过程，本质上也是零部件同步升级的过程。

一年内行业指数与沪深300指数对比走势：半导体设备的刻蚀均匀性、沉积一致性、真空稳定性及热场控制能力，均需依托关键零部件

实现，因此设备先进制程能力的提升，本质上取决于零部件性能的同步突破。相较成熟制程，

先进制程对材料纯度、加工精度、颗粒控制、耐等离子体侵蚀及温控稳定性提出更高要求，

推动零部件持续向高精度、高洁净度及高可靠性升级。

存储扩产+设备多腔化趋势有望