原创力文档无尘车间施工方案
一、项目概况
1.1工程背景
本项目为新建Class1000无尘车间，位于电子产业园二期厂房三层，建筑面积2800m2，层高4.5m，主要服务于5nm制程晶圆封装测试。车间需全年维持温度22℃±1℃、相对湿度45%±5%、洁净度ISO6级（静态）、噪声≤55dB(A)、照度500lx±50lx，并具备防静电、微振控制、AMC（气态分子污染物）控制功能。
1.2编制依据
《洁净厂房设计规范》GB50073-2013
《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472-2022
《洁净室施工及验收规范》GB5059
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