水下流场传感器工艺方案及实验研究.pptx

水下流场传感器制造工艺设计及打点实验刘梦洋智能仿生与微纳系统研究所2018.05.20

总体研究目标：水下流场传感器1.柔性复合材料传感器流场感知（动压、静压、流速）原理、结构设计和材料选择（性能指标、耐腐蚀）2.传感器的制造与组装3.传感器水下测试

近期工作计划1.G/PI压阻阵列(1)压阻阵列可行性尝试(2)压阻阵列工艺确定(3)压阻阵列工艺制造，设计测试电路进行压力分布测试2.水下流场传感器方案的提出(1)G/PVDF放电击穿为压阻材料可行性尝试(2)流场感知传感器工艺设计(3)流场传感器制造调试

本周主要进展及存在问题1.水下流场传感器工艺路线a:玻璃片上亲水Plasma5min,旋涂10wt%葡聚糖，1000r/min20s。b:将25mm厚的PI薄膜平铺在葡聚糖上，180℃30min。c:用点胶机打点PI点阵列，每一个小点直径最大200mm，高度约5mm。150,180,250℃各20min。d:用物理掩膜溅射底部Cr/Au电极。功率150W，时间2+8min。e:亲水Plasma5min,旋涂G/PVDF溶液，厚度约10mm。120℃固化10min。f:用物理掩膜溅射上部Cr/Au电极。功率150W，时间2+8min。g:亲水Plasma5min,旋涂PI溶液，140℃2h。作为防水层。h:放入水里