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原子级制造技术白皮书.pdf

原子级制造技术白皮书.pdf

    原子级制造

    技术白皮书

    目录

    01前言1

    1.1背景1

    1.2本白皮书的意义2

    02原子级制造的内涵3

    2.1原子级制造的定义3

    2.2原子级制造是物质科学与制造科学的融合5

    2.3原子级制造是国家战略需求的关键支撑7

    2.4原子级制造的现状和趋势10

    03原子级制造原理15

    3.1批量原子操控原理15

    3.2能场/能束与物质的原子尺度作用原理17

    3.3原子级器件设计

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