CN119905381A 射频功率的调节系统及其调节方法和半导体工艺设备 (北京理工大学).pdfVIP

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  • 2026-05-28 发布于重庆
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CN119905381A 射频功率的调节系统及其调节方法和半导体工艺设备 (北京理工大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119905381A

(43)申请公布日2025.04.29

(21)申请号202411991182.3G01R21/00(2006.01)

G06F30/27(2020.01)

(22)申请日2024.12.31

G06F119/06(2020.01)

(71)申请人北京理工大学

地址100081北京市海淀区中关村南大街5

申请人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公

(72)发明人吕欣王业亮

(74)专利代理机构上

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