西工大传感器原理及检测技术课件第11章 电容传感器.pdfVIP

第十一章

第十一章

电容式传感器是将被测非电量的变化转化

为电容量的一种传感器。结构简单、高分

辨力、可非接触测量，并能在高温、辐射

和强烈震动等恶劣条件下工作，这是它独

特优点。随着集成电路技术和计算机技术

的发展，促使它扬长避短，成为一种很有

发展前途的传感器

11.1工作原理、结构及特性

由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电

容器，当忽略边缘效应影响时，其电容量与真空介电

121

常数（Fm）、极板间介质的相对介电

08.85410

常数、极板的有效面积Ａ以及两极板间的距离δ有

r

关：A

C0r



若被测量的变化使式中δ、Ａ、三个参量中任意一

r

个发生变化时，都会引起电容量的变化，