西工大传感器原理及检测技术课件第11章 电容传感器.pptxVIP

第十一章

电容式传感器是将被测非电量的变化转化

为电容量的一种传感器。结构简单、高分辨力、可非接触测量，并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条件下工作，这是它独特优点。随着集成电路技术和计算机技术的发展，促使它扬长避短，成为一种很有发展前途的传感器

由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电

容器，当忽略边缘效应影响时，其电容量与真空介电常数ε0（8.854x10_12F.m_1）、极板间介质的相对介电常数εr、极板的有效面积A以及两极板间的距离δ有关：εεA

C=0r

δ

若被测量的变化使式中δ、A、εr三个参量中任意一

个发生变化时，都会引起电容量的变化，

11.1工作原理、结构及特性

再通过测量电路就可转换为电量输出。因

此，电容式传感器可分为变极距型、变面积

型和变介质型三种类型。

□图11-1为这种传感器的原理图。当传感器的εr和A为常数，初始极距为δ0，可知其初始电容量C0为

εεA

C=0r

0δ0

□当动极端板因被测量变化而向上移动使δ0减小Δδ0时，电容量增大ΔC则有

εεA