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测控技术

・10・2022年第41卷第6期智能感知与仪器仪表

基于电容-电阻转换原理的柔性压力传感器

刘秋雨叶秉泽王梓菌】，2,柳星雨-2,侯郑龙V,聂萌V

(1.东南大学电子科学与工程学院，江苏南京210096；2.MEMS教育部重点实验室，江苏南京210096)

摘要：目前，基于碳基纳米材料的柔性压力传感器凭借着其便携性、柔韧性、生物相容性和低成本等特

点，在智能医疗、人机交互和智能机器人等领域有着广泛的应用前景，但如何使其在具有较大量程范围

的同时保持较高灵敏度，仍是一个严峻的挑战。提出一种基于氧化石墨烯/碳纳米管(GrapheneOxide/

CarbonNanolube,GO/CNT)复合敏感层的柔性压力传感器，同时以热塑性聚氨酯弹性体(Thermoplastic

Polyurethanes,TPU)多孔海绵作为传感器骨架。该GO/CNT@TPU柔性压力传感器的量程范围为0~60

kPa,基于