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新型半导体器件的制造技术研究

目录

一、文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

二、理论基础与新型器件特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

半导体器件基础理论回顾．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

新型半导体器件类型与特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

关键材料体系与制备要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

本章小结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

三、制造技术核心探究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

新型器件制造工艺流程设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

核心制造工艺参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

制造缺陷分析与抑制策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

制造装备与自动化技术应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

本章小结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．