西工大传感器原理及检测技术课件第10章 气敏传感器.pptxVIP

气体传感器

■概述

■气体传感器的分类

■气体传感器的应用

■新型气体传感器介绍

概述

■主要的检测方法

■构成气体传感器材料的形态分类

■主要参数与特性

主要检测方法

■利用半导体气体器件检测的电气法

■使用电极和电解液对气体进行检测

的电化学法

■利用气体对光的折射率或光吸收等

特性来检测气体的光学法

气体传感器材料的形态

■干式气体传感器

.利用固体感测气体

■湿式气体传感器

.利用水溶液或电解质与电极感知气体

主要参数与特性

*灵敏度

两种表示方法

RK=0 R

ΔRS= ΔP

*响应时间

*选择性

*稳定性

*温度特性

*湿度特性

*电源电压特性

主要参数与特性

表面电阻控制型

SnO2WO3ZnO属于表面控制型半

导体气敏元件,当表面吸附某种气体时会引起电导率的变化.

SnO2WnO3ZnO

特点:

1.工作温度低

2.输出信号大,无需高倍放大

3.应用范围最广

SnO2系气敏元件

SnO2和空气电子亲和性大的气体发生反应

形成吸附氧束缚晶体中的电子

使器件处于高阻状态

与被测气体接触,与吸附氧发生反应

元件表面电导增加,电阻减小

工作原理

元件电阻减小

O2

SnO2元件

元件高阻

口工口-—一SiO2隔离