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半导体厂风险管控安全试题库及答案

一、单项选择题（每题2分，共30题）

1.半导体厂洁净室内使用的去离子水（DIWater）管道若发生泄漏，最可能引发的安全风险是：

A.化学腐蚀

B.电气短路

C.粉尘污染

D.高温烫伤

答案：B（洁净室电气设备密集，去离子水虽无腐蚀性但导电性可能引发短路）

2.特种气体（特气）柜内储存的硅烷（SiH?）属于：

A.毒性气体

B.易燃气体

C.腐蚀性气体

D.惰性气体

答案：B（硅烷燃点极低，与空气接触易自燃）

3.光刻工艺中使用的显影液（主要成分为四甲基氢氧化铵，TMAH）溅到皮肤时，正确的应急处置是：

A.立即用大量清水冲洗15分钟以上