CN119381330A 晶圆加工装置和晶圆加工方法 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119381330A

(43)申请公布日2025.01.28

(21)申请号202411959838.3

(22)申请日2024.12.30

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

(72)发明人孙传恽李长坤许振杰张海鹏

(51)Int.Cl.

H01L21/68(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图6页

(54)发明名称

晶圆加工装置和晶圆加工方法

(57)摘要

本申请实施