CN119631164A 信息处理装置、推论装置、机器学习装置、信息处理方法、推论方法、及机器学习方法 （株式会社荏原制作所）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119631164A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202380055328.0

(22)申请日2023.06.28

(30)优先权数据

2022-1227662022.08.01JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.21

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0239322023.06.28

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/029236JA2024.02.08

(71)申请人株式会社荏原制作所

地址日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

(72)发明人三谷隆一郎

(74)专利代理机构上海华诚知识产权代理有限

公司31300

专利代理师张丽颖

(51)Int.Cl.

H01L21/304(2006.01)

B24B37/013(2006.01)

B24B49/12(2006.01)

权利要求书3页说明书21页附图19页

(54)发明名称

信息处理装置、推论装置、机器学习装置、信

息处理方法、推论方法、及机器学习方法

(57)摘要

CN119631164A本发明提供一种可适当预测表示终点检测功能的可靠性的研磨终点检测功能的可靠性信息的信息处理装置，该终点检测功能检测化学机械研磨处理到