CN119631171A 参数估计系统、参数估计方法、计算机程序以及基板处理装置 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119631171A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202380056929.3

(22)申请日2023.07.21

(30)优先权数据

2022-1271532022.08.09JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.26

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0267402023.07.21

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/034355JA2024.02.15

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人诹访亘

(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277

专利代理师刘新宇李靖

(51)Int.Cl.

H01L21/683(2006.01)

C23C16/46(2006.01)

C23C16/52(2006.01)

H01L21/3065(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图7页

(54)发明名称

参数估计系统、参数估计方法、计算机程序

以及基板处理装置

(57)摘要

CN119631171A提供一种参数估计系统、参数估计方法、计算机程序以及基板处理装置。一种参数估计系统，是具备基板载置台以及经由冷却层对基板载置台进