CN119631154A 具有在线参数调节的极值搜索控制装置以及方法 （Mks仪器有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119631154A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202380057028.6

(22)申请日2023.03.30

(30)优先权数据

17/940,0472022.09.08US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.26

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0169082023.03.30

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/054254EN2024.03.14

(71)申请人MKS仪器有限公司地址美国马萨诸塞州

(72)发明人亚伦·贝里

弗拉基米尔·科济茨基

(74)专利代理机构北京德琦知识产权代理有限

公司11018

专利代理师于会玲宋志强

(51)Int.Cl.

H01J37/32(2006.01)

权利要求书7页说明书22页附图21页

(54)发明名称

具有在线参数调节的极值搜索控制装置以

及方法

(57)摘要

CN119631154A电源系统包括：RF电源，被配置为在输出频率下生成输出信号；信号源，被配置为生成扰动信号；极值搜索频率控制器，被配置为基于扰动信号来生成频率控制信号；以及频率选择器，被配置为选择扰动信号的扰动频率，该扰动频率与和电源系统相关联的至少一个频率