T_CASME 1234-2026 中文版（集成电路制造用超纯水系统工程验收规范 2026 年 3 月实施）.docxVIP

T/CASME1234-2026中文版（集成电路制造用超纯水系统工程验收规范2026年3月实施）

前言

T/CASME1234-2026《集成电路制造用超纯水系统工程验收规范》是由中国机械工程学会（CASME）正式发布、2026年3月1日全国统一实施的集成电路领域超纯水工程专属验收标准，是国内首部针对集成电路全制程超纯水系统的专业化、分级式、稳态化工程验收法定规范。本标准彻底填补了我国半导体超纯水领域“重设计、重运维、轻验收”的行业标准空白，终结了长期以来集成电路纯水工程验收无统一准则、阈值宽松、流程碎片化、稳态核验缺失、先进与成熟制程验收混用的行业乱象。

在集成电路工程建设体系中，超纯水系统作为晶圆制造的核心工艺介质基础设施，其工程施工质量、设备匹配精度、管网输送稳定性、水质稳态性能直接决定芯片量产良率与长期可靠性。过往国内8英寸、12英寸晶圆产线、第三代半导体产线超纯水工程验收，多套用通用水处理验收标准或依托厂家自验标准，存在重静态水质、轻动态稳态，重设备单机、轻系统联动，重终端出水、轻管网衰减，重竣工瞬时、重长期运行的结构性缺陷。大量项目存在验收瞬时达标、量产漂移超标、管网隐性污染、设备冗余不足、数据无法溯源等隐性问题，成为制约先进制程良率提升、产线稳定稼动的核心工程隐患。

T/CASME1234-2026基于国内上百条成熟/先进集成电路产线工程验收数据、缺