微机电系统产业进展与未来应用展望.pptx

MEMS发呈现实状况

及其应用前景第1页

一、MEMS定义概述MEMS是英文MicroElectro-MechanicalSystems的缩写，即微电子机械系统，指以集成电路等工艺批量制造的，含有毫米级尺寸和微米级辨别力的微细集成设备或系统。从微小化和集成化的角度，MEMS指可批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路，直至接口、通讯和电源等集于一体的微型器件或系统。第2页

与传统机械系统相比，MEMS系统具备如下优势：?①微型化和集成化：几何尺寸小，易于集成。采用微加工技术可制造出微米尺寸的传感和敏感元件，并形成二维或三维的传感器阵列，再加上一