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IEC 62418 MEMS器件键合线可靠性测试方法+源标准.pdf

IEC 62418 MEMS器件键合线可靠性测试方法+源标准.pdf

    IEC62418:MEMS器件键合线可靠性测试方

    法

    技术要点：IEC62418:2020针对MEMS封装中最薄弱的环节之一——键合线互连提出了

    专门的可靠性测试方法。与标准IC键合线不同，MEMS键合线通常连接到可移动结构或

    敏感薄膜区域，其可靠性评估与常规半导体封装有本质区别。

    一、标准范围与MEMS键合线的独特挑战

    IEC62418:2020规定了专门针对微机电系统（MEMS）封装中键合线的标准化可靠性测试

    方法。该标准由IECTC47/SC47F（微机电系统技术委员会）制定，解决了MEMS特定键

    合线认证的关

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