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表面等离激元的发展综述
自从1947年第一个晶体管从贝尔实验室问世,微电子行业开始了如火如荼的快速发展,集成度也快速开始增加。到了1975年集成电路就已经到了每四分之一平方英寸的硅片上集成65000个晶体管。同年,戈顿·摩尔在他著名的论文中提出摩尔定律并在相当长的一段时间内被证明与实际吻合。但随着微电子制程下降到10nm,摩尔定律受成本、R-C延迟与量子效应的影响已经难以维继了本文也因而步入无法继续提高响应速度的后摩尔时代。
与微电子的发展近乎同步的是集成光学的发展。这一领域最先于1969年由贝尔实验室的Miller提出。但由于光的衍射极限会限制器件的尺寸,而合适
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