CN119635465A 一种晶圆打磨清洗装置及晶圆加工方法 （珠海市世创金刚石工具制造有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119635465A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202510183352.3

(22)申请日2025.02.19

(71)申请人珠海市世创金刚石工具制造有限公司

地址519000广东省珠海市香洲区金鼎科

技工业园金恒二路22号

(72)发明人刘帅张科毛昌利张倬闫金霞

(74)专利代理机构深圳卓瀚知识产权代理有限

公司441109

专利代理师徐立宁

(51)Int.Cl.

B24B9/06(2006.01)

B24B55/06(2006.01)

B24B1/00(2006.01)

B24B47/12(2006.01)

B24B41/06(2012.01)

B24B55/02(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图4页

(54)发明名称

一种晶圆打磨清洗装置及晶圆加工方法

(57)摘要

CN119635465A本发明公开了一种晶圆打磨清洗装置及晶圆加工方法，晶圆打磨清洗装置包括加工壳体、磨盘组件、清洗组件、第一旋转组件及第二旋转组件；加工壳体内形成有加工腔体，加工腔体中设置有晶圆加工位；第一旋转组件的旋转端与磨盘组件连接，并设置于晶圆加工位的下方；第二旋转组件的旋转端分别与磨盘组件、清洗组件及第一旋转组