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高声学稳定性石英音乐坩埚的制备工艺优化与表面喷涂改性新方法

作者：辽宁晶兆半导体材料科技有限公司

韩雪赵乃晋

摘要：为解决常规石英音乐坩埚基体致密性不够，表面容易磨损，声学稳定性差和耐侵蚀性受限等缺点，提出了石英玻璃陶瓷基体工艺优化和表面热喷涂改性相结合的新型制备工艺。本文采用石英玻璃废料作为主要材料，对材料预处理，粉体制备，浆料配方和烧成制度等进行了系统优化，制得了具有高热稳定性石英玻璃陶瓷基体；首次将金属热喷涂技术引入坩埚表面功能改性中，并将电加热复合材料电极热喷涂技术参数和橡胶-金属复合制品热面喷涂温度调控方法相融合，构建出适合石英-陶瓷基体热面喷涂技术。结果表明：以乳酸为电解质，通过控制粉体颗粒级配对基体进行1200°C保温1h烧制,930°C急冷四次未发生断裂；喷涂铜涂层4~5次后涂层组织致密且与基体的结合强度大于20MPa；超声C扫测试无明显缺陷；当基体预热温度控制在低于80°C时涂层的附着力达到了0的水平，对基体的本征性能没有明显的影响。这种方法不但显著增强石英音乐坩埚耐久性与耐侵蚀性，而且通过提高材料结构均匀性与表面质量为材料高声学稳定性的实现提供坚实的保证，为大规模制造高性能音乐坩埚提供技术支持。

关键词：石英音乐坩埚；石英玻璃陶瓷；热喷涂；工艺优化；声学稳定性

引言

石英音乐坩埚是利用石英材料优良的弹性、低内耗及均匀振动特性制作的特殊乐器核心部件，其声学品质直