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地方规范JJF皖98-2020微纳米线间隔标准样板-高清可复制版.pdfVIP

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  • 2026-06-03 发布于山东
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地方规范JJF皖98-2020微纳米线间隔标准样板-高清可复制版.pdf

    (沪苏浙皖)

    沪苏浙皖地方计量校准规范

    JJF（皖）98－2020

    微纳米线间隔标准样板校准规范

    CalibrationSpecificationforMicro/Nano-PitchStandards

    2020-10-22发布2020-11-15实施

    上海市市场监督管理局

    江苏省市场监督管理局发布

    浙江省市场监督管理局

    安徽省市场监督管理局

    JJF(皖）98-2020

    目录

    目录I

    引言II

    1范围1

    2引用文献1

    3术语1

    3.1微纳米线间隔1

    3.2扫描探针显微镜1

    3.3计量型扫描探针显微镜1

    3.4重心间距1

    4概述2

    5计量特性2

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