ZL 202210564095.4-一种计算光刻光束焦点的方法、装置和计算机设备-授权.pdfVIP

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ZL 202210564095.4-一种计算光刻光束焦点的方法、装置和计算机设备-授权.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN115018912B

(45)授权公告日2026.05.29

(21)申请号202210564095.4(51)Int.Cl.

G06T7/73(2017.01)

(22)申请日2022.05.23

G06T7/60(2017.01)

(65)同一申请的已公布的文献号

(56)对比文件

申请公布号CN115018912A

CN114357928A,2022.

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