CN119643584A 基于布里渊光谱的晶圆检测方法及相关设备 （季华实验室）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119643584A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202510178324.2

(22)申请日2025.02.18

(71)申请人季华实验室

地址528200广东省佛山市南海区桂城街

道环岛南路28号

(72)发明人苏昀昊黄伟华毕海石壮威訾剑臣

(74)专利代理机构广东海融科创知识产权代理事务所(普通合伙)44377

专利代理师黄家豪

(51)Int.Cl.

G01N21/95(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图2页

(54)发明名称

基于布里渊光谱的晶圆检测方法及相关设

备

(57)摘要

CN119643584A本发明公开了一种基于布里渊光谱的晶圆检测方法及相关设备，涉及晶圆检测技术领域，其中基于布里渊光谱的晶圆检测方法包括以下步骤：根据布里渊光谱信息获取实测半高宽和实测频移；根据实测半高宽、实测频移、标准半高宽和标准频移计算晶格排列规则度，晶格排列规则度用于表征晶圆对应检测位置点处是否存在晶体缺陷。本申请的基于布里渊光谱的晶圆检测方法能解决现有的晶圆检测技术无法实现对晶圆的晶体缺陷进行无损快速准确检测的问题，能无损、

CN119643584A

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