CN119644097A 晶圆测试盒、晶圆测试系统及晶圆测试方法 （芯卓科技(浙江)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119644097A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202311865887.6

(22)申请日2023.12.29

(66)本国优先权数据

202311197186.X2023.09.15CN

(71)申请人芯卓科技（浙江）有限公司

地址322000浙江省金华市（自由贸易试验

区）义乌市稠江街道杨村路300号A幢1楼

(72)发明人刘俊良陈和也

(74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理有限公司11270

专利代理师康艳青张铮铮

(51)Int.Cl.

G01R31/28(2006.01)

G01R1/02(2006.01)

G01R31/12(2020.01)

权利要求书2页说明书7页附图9页

(54)发明名称

晶圆测试盒、晶圆测试系统及晶圆测试方法

(57)摘要

CN119644097A本发明公开一种晶圆测试盒，其包括：第一壳体、第二壳体、第一流体接口及气体供给装置。第一壳体具有第一磁件。第二壳体具有第二磁件，第二磁件与第一磁件对应设置，以使第一壳体及第二壳体紧密结合并形成测试空间。第一壳包括探针卡，第二壳体承载晶圆，当第一壳体和第二壳体相结合时，探针与晶圆的焊垫电性接触。第一流体接口设置于第一壳体或第二壳体上，用