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- 2026-06-04 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119753686A
(43)申请公布日2025.04.04
(21)申请号202411961997.7
(22)申请日2024.12.27
(71)申请人上海盛剑微电子有限公司
地址201400上海市奉贤区舜工路38号24
幢
(72)发明人张伟明刘明辉聂航衡京
章学春
(74)专利代理机构北京超凡宏宇知识产权代理
有限公司11463
专利代理师黄燕
(51)Int.Cl.
C23F1/18(2006.01)
C23F1/44(2006.01)
权利要求书2页说明书18页
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