CN119647291A 基于机器学习仿真模型的预测双面局部镀层膜厚的构建方法 （昆山一鼎工业科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119647291A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202510098169.3

(22)申请日2025.01.22

(71)申请人昆山一鼎工业科技有限公司

地址215300江苏省苏州市昆山市玉山镇

望山北路399号

(72)发明人门松明珠周智翰周爱和

(74)专利代理机构哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司23211

专利代理师梅静霞

(51)Int.Cl.

G06F30/27(2020.01)

G06F18/27(2023.01)

权利要求书5页说明书20页附图5页

(54)发明名称

基于机器学习仿真模型的预测双面局部镀

层膜厚的构建方法

(57)摘要

CN119647291A本发明涉及一种基于机器学习仿真模型的预测双面局部镀层膜厚的构建方法，属于电镀技术领域。本发明通过机器学习仿真模型完善并构建LR逻辑回归模型，利用构建逻辑斯蒂回归模型对LR逻辑回归模型实施训练，从而能够快速确立各种不同构造半导体器件的最佳电子电镀的生产条件，进而获取最优的镀件双面局部电子电镀控制方式，不仅能实现预测半导体器件双面局部镀层膜厚的准确性，大幅度降低与实际电镀产品镀层膜厚的误差，还能够实现电子电镀模组的进一步完善，促进半导体器件双面局部镀层膜厚的均