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半导体材料生产线项目洁净厂房施工方案.docx

半导体材料生产线项目洁净厂房施工方案.docx

    半导体材料生产线项目洁净厂房施工方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、工程概况 3

    二、施工目标 4

    三、总体部署 7

    四、施工准备 11

    五、洁净区分级 14

    六、平面布置 19

    七、围护结构施工 23

    八、地坪施工 27

    九、吊顶施工 29

    十、风管施工 31

    十一、空调系统施工 33

    十二、给排水施工 36

    十三、纯水系统施工 40

    十四、废气处理施工 44

    十五、电气系统施工 46

    十六、自控系统施工 52

    十七、气体管道施工 58

    十八、材料进场管理 63

    十九、施工工艺控制 67

    二十、

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