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2024.22科学技术创新-173-

某FAB厂房结构微振动有限元计算与分析

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曦，代剑英，吴芳

（1.信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司，陕西西安；2.中国建筑西北设计研究院有限公司，

陕西西安；3.华南农业大学，广东广州）

摘要：为研究电子厂房防微振结构设计方法，在对该厂区进行场地环境振动实测后，采用了有限元软件

建模计算并分析了半导体厂房结构的微振动水平。结果发现：厂房二层各区域的振动预测均满足微振要求

VC-B和VC-C标准；各测点的振动峰值主要集中在2Hz、12.5Hz、25Hz三个频段附近。分析预测结果可为

类似的项目提供经验并指导结构设计。

关键词：有限元仿真；环境振动；电子厂房

图分类号U231；U211.3文献标识码A文章编号2096-4390渊2024冤22-0173-04