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超精密光学元器件生产线项目在线检测方案.docx

超精密光学元器件生产线项目在线检测方案.docx

    超精密光学元器件生产线项目在线检测方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、方案总则 3

    二、项目概况 5

    三、产线检测目标 7

    四、检测对象范围 9

    五、检测工艺流程 10

    六、关键质量特性 13

    七、在线检测架构 17

    八、检测单元配置 20

    九、视觉检测模块 23

    十、尺寸测量模块 26

    十一、形貌检测模块 28

    十二、缺陷识别模块 30

    十三、精度控制指标 32

    十四、检测节拍要求 36

    十五、数据采集方案 39

    十六、数据传输方式 43

    十七、结果判定逻辑 44

    十八、报警与处置机制 46

    十九、

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