CN119571328A 一种用于超导腔整腔的表面缓冲化学抛光工艺 （和超高装(中山)科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119571328A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202411930813.0C23F17/00(2006.01)

(22)申请日2024.12.26

(71)申请人和超高装（中山）科技有限公司

地址528400广东省中山市三角镇汇智路

10号之一

(72)发明人石少凡焦树才孙鹏龙

(74)专利代理机构深圳卓瀚知识产权代理有限

公司441109

专利代理师安秀梅

(51)Int.Cl.

C23F3/06(2006.01)

C22F1/18(2006.01)

C22F1/02(2006.01