CN119666941A Mems电化学气体传感器及其加工方法 （郑州炜盛电子科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119666941A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202411753521.4

(22)申请日2024.12.02

(71)申请人郑州炜盛电子科技有限公司

地址450001河南省郑州市高新技术开发

区金梭路299号

(72)发明人古瑞琴刘琦于亚伟刘红霞李威

(74)专利代理机构郑州德勤知识产权代理有限

公司41128

专利代理师王莉

(51)Int.Cl.

G01N27/26(2006.01)

B81B7/02(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图3页

(54)发明名称

MEMS电化学气体传感器及其加工方法

(57)摘要

CN119666941A本发明提供了一种MEMS电化学气体传感器及加工方法。所述传感器主要由透气衬底结构、对电极、半固态电解质层和工作电极组成，且所述对电极、半固态电解质和工作电极形成“三明治”结构，其中，所述半固态电解质层厚度为1_30μm，主要是由半固态电解质溶液经过烘烤形成的薄膜结构。本发明主要是基于半固态电解质材料采用喷涂或旋涂、烘干固化等工艺加工半固态电解质层，并结合MEMS工艺设计制备的MEMS电化学气体传感器，不但能将传感器结构的尺寸做到1