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- 2026-06-08 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119694892A
(43)申请公布日2025.03.25
(21)申请号202411955867.2
(22)申请日2024.12.28
(71)申请人泰兴市开始先进半导体材料有限公
司
地址225400江苏省泰州市泰兴市黄桥经
济开发区韩庄路1号
(72)发明人张伟殷旭王惠峰
(74)专利代理机构泰州天创专利代理事务所
(普通合伙)32797
专利代理师高静
(51)Int.Cl.
H01L21/48(2006.01)
H01L21/67(2006.01)
权利要求书3页说明书
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