CN119678181A 缺陷分析装置、缺陷分析方法和程序 (株式会社力森诺科).docxVIP

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  • 2026-06-09 发布于山西
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CN119678181A 缺陷分析装置、缺陷分析方法和程序 (株式会社力森诺科).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119678181A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202380052867.9

(22)申请日2023.05.12

(30)优先权数据

2022-1116622022.07.12JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.09

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0179672023.05.12

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/014102JA2024.01.18

(71)申请人株式会社力森诺科

地址日本

(72)发明人冈野

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