CN119677701A 基板蚀刻的方法和系统，以及基板保持器 （雷纳技术有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119677701A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202380058750.1

(22)申请日2023.07.25

(30)优先权数据

102022120050.72022.08.09DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.10

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/DE2023/1005452023.07.25

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/032845DE2024.02.15

(71)申请人雷纳技术有限责任公司

地址德国古滕巴赫市7