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CN119803249A 晶圆移位识别方法、装置、设备、介质和产品 （北京京仪自动化装备技术股份有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-06-10 发布于重庆
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CN119803249A 晶圆移位识别方法、装置、设备、介质和产品 （北京京仪自动化装备技术股份有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119803249A

    (43)申请公布日2025.04.11

    (21)申请号202411905840.2

    (22)申请日2024.12.23

    (71)申请人北京京仪自动化装备技术股份有限

    公司

    地址100176北京市大兴区北京经济技术

    开发区凉水河二街8号院14号楼A座

    (72)发明人杨森元

    (74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限

    公司11002

    专利代理师黄叶

    (51)Int.Cl.

    G01B7/004(2006.01)

    G01B7/02(2006.01)

    权利要求书2页说明书1

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