CN119684034A 类金刚石碳薄膜的处理方法 （东莞新科技术研究开发有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119684034A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202311241708.1

(22)申请日2023.09.25

(71)申请人东莞新科技术研究开发有限公司

地址523087广东省东莞市南城区宏远工

业区

(72)发明人赵伟

(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限

公司44202

专利代理师杨嘉怡

(51)Int.Cl.

C04B41/80(2006.01)

权利要求书1页说明书2页

(54)发明名称

类金刚石碳薄膜的处理方法

(57)摘要

CN119684034A本发明的类金刚石碳薄膜的处理方法包括：类金刚石碳薄膜置于负压的真空腔内；以及加热所述类金刚石碳薄膜，并向所述真空腔施加外加电场，所述类金刚石碳薄膜的碳元素在所述外加电场的作用下发生电子迁移局部转化形成石墨。本发明可降低类金刚石碳薄膜的硬度，而且方法简单、工艺流程短、效率高、能耗低，适于工业上

CN119684034A

CN119684034A权利要求书1/1页

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1.一种类金刚石碳薄膜的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

类金刚石碳薄膜置于负压的真空腔内；以及

加热所述类金