CN119685807A 质量流量控制器的校验方法和化学气相沉积机台 (深圳市昇维旭技术有限公司).docxVIP

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  • 2026-06-10 发布于山西
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CN119685807A 质量流量控制器的校验方法和化学气相沉积机台 (深圳市昇维旭技术有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119685807A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202411590347.6

(22)申请日2024.11.07

(71)申请人深圳市昇维旭技术有限公司

地址518000广东省深圳市龙岗区平湖街

道辅城坳社区新源三巷1号B栋104

(72)发明人庞旭许嘉祐林富园

(74)专利代理机构北京磐华捷成知识产权代理

有限公司11851

专利代理师李丽敏

(51)Int.Cl.

C23C16/52(2006.01)

C23C16/44(2006.01)

G05

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