CN119681782A 金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备 (华海清科股份有限公司).docxVIP

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  • 2026-06-10 发布于山西
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CN119681782A 金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备 (华海清科股份有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119681782A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202510146840.7

(22)申请日2023.04.17

(62)分案原申请数据

202310410608.02023.04.17

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

(72)发明人侯映红田芳馨刘杰王成鑫郑烨

(51)Int.Cl.

B24B37/10(2012.01)

B24B37/005(2012.01)

B24B37/20(2012

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