CN119685748A 一种利用旋转掩膜生长高通量薄膜材料的方法 (上海大学).docxVIP

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  • 2026-06-10 发布于山西
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CN119685748A 一种利用旋转掩膜生长高通量薄膜材料的方法 (上海大学).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119685748A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202510213512.4

(22)申请日2025.02.26

(71)申请人上海大学

地址200444上海市宝山区上大路99号

(72)发明人李易璋张欣怡陆佳宜杨泰然向娟黄琦李蝉羽孙强

(74)专利代理机构西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙)61223

专利代理师吴莹

(51)Int.Cl.

C23C14/04(2006.01)

C23C14/24(2006.01)

C23

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