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CN119685801A 氮化硅膜的成膜方法和成膜装置 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

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  • 2026-06-10 发布于山西
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CN119685801A 氮化硅膜的成膜方法和成膜装置 （东京毅力科创株式会社）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119685801A

    (43)申请公布日2025.03.25

    (21)申请号202411719350.3

    (22)申请日2021.11.09

    (30)优先权数据

    2020-1914832020.11.18JP(62)分案原申请数据

    202111318553.82021.11.09

    C23C16/34(2006.01)C23C16/458(2006.01)

    (71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

    (72)发明人渡边幸夫高藤哲也内田博章佐藤吉宏

    (74)专利代理机构北京林达刘知

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