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- 2026-06-10 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119685806A
(43)申请公布日2025.03.25
(21)申请号202510206454.2
(22)申请日2025.02.25
(71)申请人碳方程半导体设备制造（山西）有限公司
地址030032山西省太原市中北高新技术
产业开发区国科大街59号晋创谷创新园1层综合区-YY20
(72)发明人乔耀明杨成龙刘永宁赵俊芳
(74)专利代理机构北京知大专利代理事务所(普通合伙)16344
专利代理师陈良凤
(51)Int.Cl.
C23C16/511(2006.01)
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