CN119688754A 一种泛半导体产业含氟污泥的快速检测设备和方法 （浙江沃乐科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119688754A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202510213865.4

(22)申请日2025.02.26

(71)申请人浙江沃乐科技股份有限公司

地址311121浙江省杭州市余杭区仓前街

道仓兴街397号18幢5层

申请人江西沃氟化工科技有限公司

(72)发明人陆慧锋鲁兰帅蔡洋吴新戴佳亮

(74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理

有限公司11205

专利代理师孟秀娟黄健

(51)Int.Cl.

G01N23/223(2006.01)

G01N23/2204(2018.01)

权利要求书3页说明书15页附图3页

(54)发明名称

一种泛半导体产业含氟污泥的快速检测设

备和方法

(57)摘要

CN119688754A本申请提供一种泛半导体产业含氟污泥的快速检测设备和方法。该设备包括壳体、样品台和检测系统，样品台包括承载组件和第二驱动件；承载组件活动连接于壳体内，且承载组件包括具有承载腔室的第一承载件和具有第一安装腔室的第二承载件；第一承载件通过第一驱动件安装于第一安装腔室内，第一驱动件用于带动第一承载件绕其第一中心轴旋转；第一中心轴沿垂直于第二承载件的方向延伸；第二驱动件设置于第二承载件，第二驱动件的输出