原子层沉积 术语.pdfVIP

《原子层沉积术语》国家标准（征求意见稿）

编制说明

一、工作简况

1、任务来源

本项目是由《国家标准委关于下达2025年第十批推荐性国家标准计划及相关标准外文版计划

的通知》（国标委发〔2025〕年58号）下达的任务，项目编号T-604，项目名称为《原

子层沉积术语》。本项目由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会归口，华中科技大学、中国

机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、华中科技大学无锡研究院负责起草，项目周期12个月；

采标程度为等同，计划于2026年完成。

2、主要工作过程

起草阶段：2025年12月，全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会根据国家标准化管理委

员会2025年第十批国家标准项目计划，委托起草单位成立标准工作组。工作组查阅了国内外相关标

准和文献，并收集了原子层沉积技术的应用现状。经过充分讨论，起草小组确定了等同采标的标准

编写方法，并于2026年6月完成标准征求意见稿。

征求意见阶段：

送审阶段：

报批阶段：

3、主要参加单位及工作组成员

主要起草单位：华中科技大学、中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、华中科技大

学无锡研究院。